磁控溅射制备太阳能选择性吸收涂层脱膜原因浅析
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0前言
磁控溅射制备太阳能选择性吸收涂层在使用过程中经常会出现脱膜现象，对真空管的使用性能会造成一定影响。本文简要分析了磁控溅射制备太阳能选择性吸收涂层常见的的脱膜形式，并对脱膜原因进行了分析，以期为使用磁控溅射制备太阳能选择性吸收涂层企业提供正确的使用及维护方法，提高真空管使用寿命。
1常见脱膜形式
1.1针孔状脱膜（见图1）
此类脱膜形式最为常见，尤其是涂层在经过高温烘烤后更为明显，表现为在高温烘烤区域膜层针孔状或星状翘起，一般是因为脱膜区域基片没有达到洁净要求或者涂层的耐高温强度不达标。
1.2条状脱膜（见图2）
条状脱膜较容易发现，在镀膜结束后，用手擦拭涂层，就会出现脱膜，表现为擦拭区域出现条状脱膜，一般是因为脱膜区域在清洗风干阶段有水迹残留。
1.3块状脱膜（见图3）
块状脱膜在做膜层黏附力检测时便可发现，根据GB5210-85规定采用拉开法检测涂层附着力，在规定的速率下，在涂层面施加垂直、均匀的拉力，若出现块状脱膜现象，则表明该涂层的附着力不达标，一般是因为镀膜工艺参数设置不合理，溅射强度不够，导致涂层附着力不达标。
2脱膜原因分析
2.1基片因素
2.1.1基片存放因素
基片表面越新鲜，表面活性越大，与膜层的结合力越强，反之则差。使用存放期过长的基片，由于基片表面霉变和附着的污物会大量增加，而且附着力很强，清洗环节很难清掉，这就造成膜层与基片的结合力大大降低，从而导致脱膜。
2.1.2基片切割因素
许多原材料生产厂家为了提高基片的切裁率，在切割刀上注了过多的煤油，这些煤油残留在原片上，在清洗环节难以清除掉，造成脱膜。在采购原材料时，应要求无油切割。若不能无油切割，应在正式清洗前用稀盐酸或阴离子去垢剂进行预清洗。
2.2水质因素
2.2.1水处理设备
水质的好坏对于镀膜性能的高低至关重要。去离子水纯度应控制在电导率20μs/cm以下。若低于该值，则应对阴阳离子交换树脂进行再生，否则，会因水质不纯导致原片清洗不净而脱膜。
2.2.2管道和水箱的杂质
连接水处理设备和清洗机水箱的管道应定期吹扫清洗因为管道中若残留不流动的水时间久了，会滋生细菌、藻类在使用时会带到水箱里，使清洗水本身旅游活动过关，造成镀膜不牢。
2.2.3清洗机
清洗刷时常用的清洗机。清洗刷使用一段时间后，上面会残留一些污物，包括油污、絮状物、纸屑、甚至细菌，若不能有效地进行清洗，也会带来污染，造成脱膜。所以，必须定期用蒸汽清洗机清洗毛刷，必要时，可用双氧水清洗。
2.3真空度
本底真空度必须达到一定标准方可镀膜，否则，会因气体中残留杂质气体，导致膜层成分不纯，结合力不强。一般本底真空应控制在10-3Pa。
2.4扩散泵返油
扩散泵冷却水水温偏高，易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上，这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温，做好记录，尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候，更应如此。
2.5工艺气体、靶材
若使用纯度不高的工艺气体或靶材，会使膜层中杂质成分偏高，产生大面积针孔，进而导致脱膜，所以采用高纯度气体和靶材是消除脱膜的重要前提。
3结语
出现脱膜问题可能是一个或多人因素造成的。所以，发现脱膜现象，应一个个环节进行排查。生产环节应夯实基础、强化管理、持续改进。在导致脱膜的其他几个工序一定要严格按照规范要求去做，减少随意性。只有这样，才能最大限度地预防脱膜发生。
